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Effect of deposition mode and pulse parameters on the mechanical and tribological properties of magnetron sputtered TiBx films

摩擦学 腔磁控管 沉积（地质） 溅射沉积 材料科学 薄膜 冶金 复合材料 纳米技术 溅射 地质学 沉积物 古生物学
作者
A.S. Grenadyorov,С. В. Работкин,В.О. Оскирко,I.M. Goncharenko,V. A. Semenov,К. В. Оскомов,Elizaveta O. Kraynova,А.А. Solovyev
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2025-02-01 卷期号：: 140640-140640
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2025.140640
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