发布文献求助

亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！

Exploring the challenges of pushing the resolution of DUV immersion lithography

浸没式光刻平版印刷术沉浸式（数学）极紫外光刻材料科学光学光电子学计算机科学抵抗纳米技术物理数学图层（电子）纯数学

作者

Gerben Hopman,Remco Scheerder,Danielle Palmen,Derek Shi,Jette van den Broeke,Edwin D. de Jong,Maryam Ashouei,Marieke van Veen,Rene Queens,Stephen Hsu,Jan Baselmans

标识

DOI：10.1117/12.3050042

求助该文献

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI2S上传了应助文件

15秒前; 斯文败类上传了应助文件

15秒前; Sandy的应助被qyn1234566采纳，获得80

17秒前; 皮咻发布了新的文献求助10

19秒前; 科目三上传了应助文件

28秒前; 皮咻完成签到，获得积分10

30秒前; 量子星尘发布了新的文献求助10

33秒前; 张涛发布了新的文献求助10

33秒前; 爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10

38秒前; Akim的应助被科研通管家采纳，获得10

38秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

38秒前; 过氧化氢上传了应助文件

40秒前; 张涛关闭了张涛的文献求助

51秒前; 一个西瓜完成签到，获得积分10

53秒前; amengptsd完成签到，获得积分10

54秒前; 过氧化氢上传了应助文件

1分钟前; 酷波er上传了应助文件

1分钟前; zhang08完成签到，获得积分10

1分钟前; 鹿茸与共发布了新的文献求助10

1分钟前; 小马甲上传了应助文件

1分钟前; 鹿茸与共发布了新的文献求助10

1分钟前; 鹿茸与共完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健的小迷弟的应助被ccc6195采纳，获得30

2分钟前; 量子星尘发布了新的文献求助10

2分钟前; 深情安青上传了应助文件

2分钟前; Sylvia_J完成签到，获得积分10

2分钟前; 大魔王泡泡发布了新的文献求助10

2分钟前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI2S上传了应助文件

2分钟前; XinTKW上传了应助文件

2分钟前; 谭歆柔发布了新的文献求助20

2分钟前; 完美世界上传了应助文件

3分钟前; Jasper的应助被ledodo采纳，获得10

3分钟前; 一个西瓜发布了新的文献求助10

3分钟前; 赘婿的应助被谭歆柔采纳，获得20

3分钟前; 过氧化氢上传了应助文件

3分钟前; Ztx完成签到，获得积分10

3分钟前; Sandy上传了应助文件

3分钟前; XinTKW上传了应助文件

3分钟前; 田様的应助被沉静海白采纳，获得10

3分钟前

高分求助中: 【提示信息，请勿应助】关于scihub 10000; Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000; 徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000; The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000; Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100; Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000; Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 4037241; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3575080; 关于积分的说明 11373443; 捐赠科研通 3305209; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1819107; 邀请新用户注册赠送积分活动 892612; 科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 814990

今日热心研友

比比谁的速度快

我的文献呢

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通