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Non-polar a-plane AlN epitaxial films on r-plane sapphire with greatly reduced defect densities obtained by high-temperature annealing

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作者
Kun Xing,Guangxia Xie,Xueying Cheng,Yun Zhang,Qiang Chen,Kun Xing,Guangxia Xie,Xueying Cheng,Yun Zhang,Qiang Chen
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2022-08-30 卷期号：597: 126855-126855 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2022.126855
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