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An efficient approach for atomic-scale polishing of single-crystal silicon via plasma-based atom-selective etching

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作者
Zhidong Fang,Yi Zhang,Rulin Li,Yanan Liang,Hui Deng
出处
期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture [Elsevier BV]
日期：2020-10-26 卷期号：159: 103649-103649 被引量：47
标识
DOI：10.1016/j.ijmachtools.2020.103649
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