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Barriers Against Copper Diffusion into Silicon and Drift Through Silicon Dioxide

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作者
Shi‐Qing Wang
出处
期刊：Mrs Bulletin [Springer Nature]
日期：1994-08-01 卷期号：19 (8): 30-40 被引量：189
标识
DOI：10.1557/s0883769400047710
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