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Effect of Glass Substrate on the Film Properties of Poly Silicon by Excimer Laser Annealing

材料科学 准分子激光器 退火（玻璃） 硅 基质（水族馆） 光电子学 复合材料 激光器 光学 海洋学 物理 地质学
作者
Bin Zhu,Rajesh Vaddi,Minghuang Huang,Hoon Kim,Robert G. Manley
出处
期刊：ECS transactions [The Electrochemical Society]
日期：2020-09-23 卷期号：98 (7): 109-115
标识
DOI：10.1149/09807.0109ecst
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