亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Multiple SiGe/Si layers epitaxy and SiGe selective etching for vertically stacked DRAM

德拉姆 材料科学 光电子学 外延 蚀刻(微加工) 纳米技术 图层(电子)
作者
Zhenzhen Kong,Hongxiao Lin,Hailin Wang,Yao Song,Junjie Li,Xiaomeng Liu,Anyan Du,Yuyang Miao,Yiwen Zhang,Yuhui Ren,Chen Li,Jiahan Yu,Jinbiao Liu,Jingxiong Liu,Qingzhu Zhang,Jianfeng Gao,Huihui Li,Xiangsheng Wang,Junfeng Li,Henry H. Radamson,Chao Zhao,Tianchun Ye,Guilei Wang
出处
期刊:Journal of Semiconductors [IOP Publishing]
卷期号:44 (12): 124101-124101
标识
DOI:10.1088/1674-4926/44/12/124101
摘要

Abstract Fifteen periods of Si/Si 0.7 Ge 0.3 multilayers (MLs) with various SiGe thicknesses are grown on a 200 mm Si substrate using reduced pressure chemical vapor deposition (RPCVD). Several methods were utilized to characterize and analyze the ML structures. The high resolution transmission electron microscopy (HRTEM) results show that the ML structure with 20 nm Si 0.7 Ge 0.3 features the best crystal quality and no defects are observed. Stacked Si 0.7 Ge 0.3 ML structures etched by three different methods were carried out and compared, and the results show that they have different selectivities and morphologies. In this work, the fabrication process influences on Si/SiGe MLs are studied and there are no significant effects on the Si layers, which are the channels in lateral gate all around field effect transistor (L-GAAFET) devices. For vertically-stacked dynamic random access memory (VS-DRAM), it is necessary to consider the dislocation caused by strain accumulation and stress release after the number of stacked layers exceeds the critical thickness. These results pave the way for the manufacture of high-performance multivertical-stacked Si nanowires, nanosheet L-GAAFETs, and DRAM devices.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
啊啊啊啊啊啊啊啊啊啊完成签到 ,获得积分10
2秒前
SCI的芷蝶完成签到 ,获得积分10
10秒前
ach发布了新的文献求助10
26秒前
41秒前
2分钟前
Maolin完成签到 ,获得积分10
2分钟前
jyy发布了新的文献求助10
2分钟前
Hello应助aa采纳,获得30
3分钟前
3分钟前
白云朵儿发布了新的文献求助10
3分钟前
3分钟前
ektyz发布了新的文献求助10
3分钟前
aa发布了新的文献求助30
3分钟前
aa完成签到,获得积分10
3分钟前
天天快乐应助Huang采纳,获得10
4分钟前
4分钟前
螃蟹One完成签到 ,获得积分10
4分钟前
Huang发布了新的文献求助10
4分钟前
wait完成签到 ,获得积分10
4分钟前
暴躁的沧海完成签到 ,获得积分10
4分钟前
5分钟前
白云朵儿发布了新的文献求助10
5分钟前
6分钟前
白云朵儿发布了新的文献求助10
6分钟前
6分钟前
白云朵儿发布了新的文献求助10
6分钟前
wanwan47发布了新的文献求助30
7分钟前
7分钟前
心灵美诗霜完成签到 ,获得积分10
8分钟前
wodetaiyangLLL完成签到 ,获得积分10
8分钟前
lixuebin完成签到 ,获得积分10
8分钟前
七七发布了新的文献求助10
9分钟前
大个应助科研通管家采纳,获得10
9分钟前
白云朵儿发布了新的文献求助10
9分钟前
9分钟前
Orange应助七七采纳,获得10
9分钟前
酷波er应助guan采纳,获得10
10分钟前
CodeCraft应助wanwan47采纳,获得10
10分钟前
wanwan47完成签到,获得积分10
10分钟前
ruba发布了新的文献求助10
10分钟前
高分求助中
Un calendrier babylonien des travaux, des signes et des mois: Séries iqqur îpuš 1036
Sustainable Land Management: Strategies to Cope with the Marginalisation of Agriculture 1000
Corrosion and Oxygen Control 600
Heterocyclic Stilbene and Bibenzyl Derivatives in Liverworts: Distribution, Structures, Total Synthesis and Biological Activity 500
重庆市新能源汽车产业大数据招商指南(两链两图两池两库两平台两清单两报告) 400
Division and square root. Digit-recurrence algorithms and implementations 400
行動データの計算論モデリング 強化学習モデルを例として 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 有机化学 工程类 生物化学 纳米技术 物理 内科学 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 电极 光电子学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 2545629
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2175642
关于积分的说明 5600192
捐赠科研通 1896371
什么是DOI,文献DOI怎么找? 946248
版权声明 565371
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 503557