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Ferroelectric memory for back-end-of-line 3D integration

铁电性 材料科学 生产线后端 直线（几何图形） 纳米技术 光电子学 几何学 数学 图层（电子） 电介质
作者
Lishu Wu
出处
期刊：Nature Reviews Materials [Springer Nature]
日期：2023-06-23 卷期号：8 (7): 421-421 被引量：1
标识
DOI：10.1038/s41578-023-00578-6
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