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Overview of Silicon Carbide Wafer Defect Types and Inspection Techniques

碳化硅 薄脆饼 材料科学 硅 工程物理 光电子学 计算机科学 工程类 冶金
作者
Yang-Chao Liu,Wen-Jie Chen,Xin Qi,Yi Shen,Lin Gu,Hong-Ping Ma
标识
DOI：10.1109/sslchinaifws64644.2024.10835376
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