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Elucidating the surface chemistry of SiO2 and SiNx in hydrofluoric acid for area-selective atomic layer deposition of SiO2
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作者
Sanghun Lee,
Namkyu Yoo,
Tae Hyun Kim,
Chanju Lee,
Jisang Yoo,
Jinhyung Park,
Gerold A. Willing,
Seung‐min Chung,
Hyungjun Kim
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier]
日期：2025-08-13
卷期号：713: 164341-164341
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164341
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