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Development of a microphotocantilever for near-field scanning optical microscopy
作者
S. Akamine,
Hiroki Kuwano,
Kenji Fukuzawa,
Hirofumi Yamada
出处
期刊：Proceedings, IEEE micro electro mechanical systems
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2005-08-24
卷期号：1139: 145-145
被引量：5
链接
ac.jp
ac.jp
doi.org
标识
DOI：10.1109/memsys.1995.472538
摘要
Proceedings, IEEE Micro Electro Mechanical Systems : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems : Amsterdam, Netherlands, January 29, February 2, 1995
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