Wet Chemical Cleaning of Germanium Surfaces for Growth of High-k Dielectrics

锗材料科学氧化锗 X射线光电子能谱氧化物硅化学工程吸收（声学）分析化学（期刊）纳米技术光电子学复合材料冶金有机化学化学工程类

作者

Sandrine Rivillon Amy,Yves J. Chabal,Fabrice Amy,Antoine Kahn,Cristiano Krugg,Paul Kirsch

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2006-01-01 卷期号：917 被引量：19

标识

DOI：10.1557/proc-0917-e01-05

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