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Reactive sputtering of PTFE films in argon-CF4 mixtures

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作者
H. W. Lehmann,K. Frick,Rudolf Widmer‐Schnidrig,J. L. Vossen,E.A. James
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1978-07-01 卷期号：52 (2): 231-235 被引量：36
标识
DOI：10.1016/0040-6090(78)90141-4
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