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Surface evolution and effect of V/III ratio modulation on etch-pit-density improvement of thin AlN templates on nano-patterned sapphire substrates by metalorganic chemical vapor deposition

材料科学 蓝宝石 化学气相沉积 结晶度 薄脆饼 金属有机气相外延 外延 位错 光电子学 腐蚀坑密度 聚结（物理） 薄膜 蚀刻（微加工） 复合材料 纳米技术 光学 图层（电子） 激光器 物理 天体生物学
作者
Tzu-Yu Wang,Chi-Tsung Tasi,Ku-Yen Lin,Sin-Liang Ou,Ray‐Hua Horng,Dong‐Sing Wuu
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2018-06-05 卷期号：455: 1123-1130 被引量：25
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2018.06.017
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