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光刻胶抵抗平版印刷术材料科学微电子机械系统光刻光电子学光学纳米技术图层（电子）物理

作者

Shijie Liu,Jinglei Du,Xi Duan,Boliang Luo,Xionggui Tang,Yongkang Guo,Zheng Cui,Chunlei Du,Jun Yao

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2005-01-29 卷期号：78-79: 490-495 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.mee.2005.01.014

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