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Using hybrid ionized physical vapor deposition to control interface reaction during titanium deposition onto aluminum under-layer
作者
Chengyu Niu,
Greg Magsamen,
Brian Stephenson,
Jakisa Radja
出处
期刊:
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2009-02-17
卷期号:517 (13): 3677-3680
被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2009.02.025
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