SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Interaction between abrasive particles and film surfaces in low down force Cu CMP
材料科学
化学机械平面化
铜
钝化
磨料
泥浆
抛光
冶金
复合材料
图层（电子）
作者
Yuchun Wang,
Isaac Zomora,
Joe Hawkins,
Renjie Zhou,
Fred Sun,
Roy Martinez,
Jian Zhang,
Bin Lü,
Shumin Wang
出处
期刊：
MRS Proceedings
[Cambridge University Press]
日期：2004-01-01
卷期号：816
被引量：4
标识
DOI：10.1557/proc-816-k4.8
求助该文献
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
李健
的
应助
被
乐超多
采纳，获得
10
刚刚
樱花
发布了新的
文献求助
200
1秒前
Alvienan
完成签到
，获得积分
10
1秒前
脑洞疼
的
应助
被
派大星
采纳，获得
10
2秒前
大模型
的
应助
被
charint
采纳，获得
10
2秒前
Raftaar
上传了
应助文件
3秒前
与落
发布了新的
文献求助
10
3秒前
甜橙
发布了新的
文献求助
20
3秒前
pyy
完成签到，获得积分
20
3秒前
Raftaar
上传了
应助文件
4秒前
齐齐
完成签到，获得积分
10
6秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
7秒前
CodeCraft
上传了
应助文件
7秒前
丘比特
的
应助
被
栗子馅
采纳，获得
10
7秒前
Avalonx
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
华仔
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
汉堡包
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
热心市民小红花
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
7秒前
丹丹
发布了新的
文献求助
10
8秒前
吾知秀汝不及
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
甜美月亮
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
乐乐
上传了
应助文件
8秒前
小蘑菇
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
紫萁小菇
发布了新的
文献求助
10
8秒前
小蘑菇
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
大力的冬萱
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
20
8秒前
慕青
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
打打
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
蔷薇花儿
发布了新的
文献求助
30
8秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
赘婿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
科研通AI6.4
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
小蘑菇
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
8秒前
思源
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
酷波er
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
CodeCraft
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
英俊的铭
上传了
应助文件
9秒前
吾知秀汝不及
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
领导范儿
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
9秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Nondestructive Testing Handbook: Vol. 4, Thermal and Infrared Testing (IR), 4th ed
800
作者名：Kristopher P. Plain，悉尼大学的，目前只能查到其四篇论文，想找到其博士论文
590
Évora na Idade Média
555
Soil mites of the family Rhagidiidae (Actinedida: Eupodoidea). Morphology, Systematics, Ecology
520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Radical Reactions
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7366862
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8974921
关于积分的说明
19080357
捐赠科研通
7010780
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3224228
关于科研通互助平台的介绍
2387871
邀请新用户注册赠送积分活动
2204940
今日热心研友
Kao
166
3540
大力的冬萱
144
3510
Copyright
273
1570
cdercder
115
1230
OK
59
1530
舒适的如萱
102
1070
MozzieMiao
108
850
天晴
87
720
Nole
79
790
liuzhuohao
76
750
潇洒的惋清
57
620
Nexus
34
810
arniu2008
33
750
我们去哪li
52
500
科研狗
1000
lizishu
24
610
愉快的真
31
530
sagitar
842
sanvva
830
殷勤的紫槐
800
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
大力的冬萱
Copyright
cdercder
OK
舒适的如萱
MozzieMiao
天晴
Nole
liuzhuohao
潇洒的惋清
Nexus
arniu2008
我们去哪li
科研狗
lizishu
愉快的真
sagitar
sanvva
殷勤的紫槐
皖公网安备34019202002308
