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Process stability of SiGe heterostructures for BiCMOS applications

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作者
P. Ribot,S. Jouan,J.L. Regolini
出处
期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-332 被引量：5
标识
DOI：10.1051/jp4:1999840
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