SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Development of Wafer-Level Wet Atomic Layer Etching Process Platform for Cu Surface Topography Control in Hybrid Bonding Applications
薄脆饼
蚀刻（微加工）
材料科学
图层（电子）
晶片键合
光电子学
过程控制
过程（计算）
原子力显微镜
干法蚀刻
原子层沉积
纳米技术
计算机科学
操作系统
作者
Seung Ho Hahn,
Woo Seok Kim,
Seongmin Son,
Kyuha Lee,
Jungshin Lee,
Joohee Jang,
Kyeongbin Lim,
Bumki Moon,
Minwoo Rhee,
Kwangjin Moon
标识
DOI：10.1109/ectc51687.2025.00098
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
汉堡包
上传了
应助文件
25秒前
river_121
发布了新的
文献求助
30
30秒前
你好
完成签到，获得积分
10
36秒前
Emma
完成签到
，获得积分
10
49秒前
Criminology34
上传了
应助文件
1分钟前
Criminology34
的
应助
被
balko
采纳，获得
10
1分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
1分钟前
小小牛
完成签到，获得积分
10
1分钟前
聪慧的凝海
完成签到
，获得积分
0
1分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
1分钟前
Criminology34
举报
waalsss
的
求助
涉嫌违规
2分钟前
Owen
上传了
应助文件
2分钟前
倦鸟归林
完成签到，获得积分
10
2分钟前
倦鸟归林
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
Criminology34
举报
六蒙骑士
的
求助
涉嫌违规
2分钟前
Jasper
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
大模型
上传了
应助文件
3分钟前
Criminology34
举报
狂野傲白
的
求助
涉嫌违规
3分钟前
1123048683wm
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
无极微光
上传了
应助文件
3分钟前
1123048683wm
完成签到，获得积分
10
3分钟前
酷波er
上传了
应助文件
3分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
3分钟前
从容的小天鹅
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
从容的小天鹅
完成签到，获得积分
20
3分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
3分钟前
顾矜
的
应助
被
从容的小天鹅
采纳，获得
10
4分钟前
慕青
的
应助
被
river_121
采纳，获得
30
4分钟前
胖小羊
完成签到
，获得积分
10
4分钟前
脑洞疼
的
应助
被
考拉
采纳，获得
10
4分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
4分钟前
魏聪
完成签到，获得积分
10
4分钟前
魏聪
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
完美世界
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
4分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
5分钟前
alex12259
完成签到
，获得积分
10
5分钟前
Criminology34
上传了
应助文件
5分钟前
大个
上传了
应助文件
5分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Encyclopedia of Reproduction Third Edition
3000
Comprehensive Methanol Science Production, Applications, and Emerging Technologies
2000
化妆品原料学
1000
《药学类医疗服务价格项目立项指南（征求意见稿）》
1000
The Political Psychology of Citizens in Rising China
600
1st Edition Sports Rehabilitation and Training Multidisciplinary Perspectives By Richard Moss, Adam Gledhill
600
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
生物
医学
工程类
计算机科学
有机化学
物理
生物化学
纳米技术
复合材料
内科学
化学工程
人工智能
催化作用
遗传学
数学
基因
量子力学
物理化学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
5635029
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
4734553
关于积分的说明
14989637
捐赠科研通
4792779
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2559891
邀请新用户注册赠送积分活动
1520158
关于科研通互助平台的介绍
1480221
今日热心研友
Criminology34
136
860
清飏
22
480
lsl
58
60
ccm
44
110
方汀
24
40
无极微光
7
200
哈哈
21
40
tuanheqi
200
米粉好好吃
200
轨迹
200
舒心凡
5
90
乐空思
120
null
110
CodeCraft
1
80
VDC
6
30
嘿嘿
80
浮游
70
寻道图强
60
ShmilyLJQ
6
MchemG
6
走啊走
50
优美紫槐
3
20
xu
40
dawnfrf
3
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Criminology34
清飏
lsl
ccm
方汀
无极微光
哈哈
tuanheqi
米粉好好吃
轨迹
舒心凡
乐空思
null
CodeCraft
VDC
嘿嘿
浮游
寻道图强
ShmilyLJQ
MchemG
走啊走
优美紫槐
xu
dawnfrf
皖公网安备34019202002308
