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Laser Crystallization of Amorphous Silicon via Spot Beam Annealing Method

结晶材料科学非晶硅硅退火（玻璃）无定形固体激光器激光束光学光电子学化学工程复合材料晶体硅结晶学化学物理工程类

作者

JinNyoung Jang,Won Hee Han,Gi Hyeon Baek,Jayoung Park,James S. Im,Chiwoo Kim

出处

期刊：IDW [International Display Workshops General Incorporated Association]
日期：2023-12-08 卷期号：: 437-437

标识

DOI：10.36463/idw.2023.0437

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