Analytical study on the near interface of TiN-coated steel by X-ray photoelectron spectroscopy and thin layer X-ray diffraction.

窒化チタン被覆鋼の界面近傍のチタン,窒素,鉄,酸素,炭素の状態分析をX線光電子分光(XPS)並びに薄膜X線回折で行った.チタン,窒素,酸素の化学状態はXPSにアルゴンスパッタリングはく離を組み合わせることにより十分推定できたが,炭素は鋼中には0.03%と比較的少なく,XPSによる検出は困難であった.しかし薄膜X線回折法の採用で試料の熱処理により界面近傍における炭化物形成反応の推定が可能であった。薄膜X線回折とXPSの組み合わせは固体表面,界面の分析に有力な手段となり得る。