High-power EUV lithography: spectral purity and imaging performance

极紫外光刻 十字线 极端紫外线 平版印刷术 光学 扫描仪 材料科学 光电子学 功率(物理) 物理 激光器 量子力学 薄脆饼
作者
Mark van de Kerkhof,Fei Liu,Marieke Meeuwissen,Xueqing Zhang,Muharrem Bayraktar,Robert de Kruif,Natalia Davydova
出处
期刊:Journal of Micro-nanolithography Mems and Moems [SPIE - International Society for Optical Engineering]
卷期号:19 (03) 被引量:28
标识
DOI:10.1117/1.jmm.19.3.033801
摘要

With the introduction of the NXE:3400B scanner, ASML has brought extreme ultraviolet lithography (EUV) to high-volume manufacturing (HVM). The high-EUV power of >200 W being realized with this system satisfies the throughput requirements of HVM, but also requires reconsideration of the imaging aspects of spectral purity, both from the details of the EUV emission spectrum and from the deep-ultraviolet (DUV) emission. We present simulation and experimental results for the spectral purity of high-power EUV systems and the imaging impact of this, both for the case of with and without a pellicle. Also, possible controls for spectral purity will be discussed, and an innovative method will be described to measure imaging impact of varying conversion efficiency (CE) and DUV. It will be shown that CE optimization toward higher source power leads to reduction in relative DUV content, and the small deltas in EUV source spectrum for higher power do not influence imaging. It will also be shown that resulting variations in DUV do not affect imaging performance significantly, provided that a suitable reticle black border is used. In summary, spectral purity performance is found to enable current and upcoming nodes of EUV lithography and to not be a bottleneck for further increasing power of EUV systems to well above 250 W.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
飞天大南瓜完成签到,获得积分10
刚刚
ming完成签到 ,获得积分10
2秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
jianglan完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
难过冰淇淋完成签到,获得积分10
5秒前
何半山完成签到,获得积分10
5秒前
DDD完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
6秒前
7秒前
FashionBoy应助通~采纳,获得10
8秒前
翎儿响叮当完成签到 ,获得积分10
8秒前
小王子完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
8秒前
8秒前
8秒前
pp应助研友采纳,获得20
9秒前
lilililia发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
9秒前
快乐友灵完成签到,获得积分10
9秒前
翁雁丝完成签到 ,获得积分10
10秒前
旷意发布了新的文献求助10
11秒前
可爱的秋发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
小王子发布了新的文献求助10
12秒前
12秒前
fengge发布了新的文献求助10
13秒前
Lina发布了新的文献求助10
13秒前
搁浅发布了新的文献求助10
14秒前
脑洞疼应助冷静的莞采纳,获得30
15秒前
可爱的函函应助刘火火采纳,获得10
15秒前
开始发布了新的文献求助10
16秒前
隐形曼青应助FuuKa采纳,获得10
17秒前
18秒前
fengge完成签到,获得积分10
19秒前
旷意完成签到,获得积分10
19秒前
高分求助中
2025-2031全球及中国金刚石触媒粉行业研究及十五五规划分析报告 40000
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Introduction to strong mixing conditions volume 1-3 5000
Ägyptische Geschichte der 21.–30. Dynastie 2500
Clinical Microbiology Procedures Handbook, Multi-Volume, 5th Edition 2000
„Semitische Wissenschaften“? 1510
从k到英国情人 1500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5742835
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 5410665
关于积分的说明 15345946
捐赠科研通 4883896
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2625419
邀请新用户注册赠送积分活动 1574229
关于科研通互助平台的介绍 1531192