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Growth of TiSiN Films by Room-Temperature Reactive Magnetron Sputtering

溅射材料科学溅射沉积腔磁控管化学工程分析化学（期刊）化学纳米技术薄膜环境化学工程类

作者

V. S. Sulyaeva,Mikhail M. Syrokvashin,A. K. Kozhevnikov,Е. N. Ermakova

出处

期刊：Inorganic Materials [Pleiades Publishing]
日期：2024-06-01 卷期号：60 (6): 723-730

标识

DOI：10.1134/s0020168524700948

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