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外延 材料科学 腐蚀坑密度 基面 表面光洁度 均方根 光电子学 两步走 表面粗糙度 图层（电子） 形态学（生物学） 光学 蚀刻（微加工） 结晶学 复合材料 化学 地质学 古生物学 组合化学 物理 电气工程 工程类
作者
C.H. Ko,Y.K. Su,Shoou‐Jinn Chang,Tsung‐Yuan Tsai,Ta‐Ming Kuan,W.H. Lan,Jia-Ching Lin,W.J. Lin,Y. T. Cherng,James B. Webb
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier]
日期：2003-06-30 卷期号：82 (1): 55-60 被引量：10
标识
DOI：10.1016/s0254-0584(03)00228-1
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