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Two-step epitaxial lateral overgrowth of GaN

外延 材料科学 腐蚀坑密度 基面 表面光洁度 均方根 光电子学 两步走 表面粗糙度 图层(电子) 形态学(生物学) 光学 蚀刻(微加工) 结晶学 复合材料 化学 地质学 物理 古生物学 工程类 电气工程 组合化学
作者
C.H. Ko,Y.K. Su,Shoou‐Jinn Chang,Tsung‐Yuan Tsai,Ta‐Ming Kuan,W.H. Lan,Jia-Ching Lin,W.J. Lin,Y. T. Cherng,James B. Webb
出处
期刊:Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
卷期号:82 (1): 55-60 被引量:10
标识
DOI:10.1016/s0254-0584(03)00228-1
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