Ultrafast laser processing of materials: a review

超短脉冲 飞秒 激光器 材料加工 材料科学 半导体 光电子学 纳秒 纳米技术 半导体激光器理论 光学 工程物理 物理 工艺工程 工程类
作者
Katherine C. Phillips,Hemi H. Gandhi,Eric Mazur,S. K. Sundaram
出处
期刊:Advances in Optics and Photonics [Optica Publishing Group]
卷期号:7 (4): 684-684 被引量:530
标识
DOI:10.1364/aop.7.000684
摘要

We present an overview of the different processes that can result from focusing an ultrafast laser light in the femtosecond–nanosecond time regime on a host of materials, e.g., metals, semiconductors, and insulators. We summarize the physical processes and surface and bulk applications and highlight how femtosecond lasers can be used to process various materials. Throughout this paper, we will show the advantages and disadvantages of using ultrafast lasers compared with lasers that operate in other regimes and demonstrate their potential for the ultrafast processing of materials and structures.
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