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The structure and properties of chromium nitride coatings deposited using dc, pulsed dc and modulated pulse power magnetron sputtering

材料科学脉冲直流溅射沉积纳米压痕溅射氮化铬微观结构腔磁控管高功率脉冲磁控溅射分析化学（期刊）透射电子显微镜物理气相沉积粒度基质（水族馆）扫描电子显微镜复合材料薄膜氮化物涂层纳米技术化学图层（电子）海洋学色谱法地质学

作者

Jianliang Lin,John J. Moore,William D. Sproul,Brajendra Mishra,Zhili Wu,Jun Wang

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2010-01-07 卷期号：204 (14): 2230-2239 被引量：173

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2009.12.013

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