The structure and properties of chromium nitride coatings deposited using dc, pulsed dc and modulated pulse power magnetron sputtering

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作者
Jianliang Lin,John J. Moore,William D. Sproul,Brajendra Mishra,Zhili Wu,Jun Wang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:204 (14): 2230-2239 被引量:176
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2009.12.013
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