Effect of water dose on the atomic layer deposition rate of oxide thin films

原子层沉积 增长率 氧化物 薄膜 图层(电子) 沉积(地质) 化学 材料科学 分析化学(期刊) 纳米技术 环境化学 冶金 古生物学 沉积物 几何学 数学 生物
作者
Raija Matero,Antti Rahtu,Mikko Ritala,Markku Leskelä,Timo Sajavaara
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:368 (1): 1-7 被引量:251
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(00)00890-7

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