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Synthesis of Fe metal precipitated colloidal silica and its application to W chemical mechanical polishing (CMP) slurry

作者

Young-Jae Kang,Y. Nagendra Prasad,In‐Kwon Kim,Seok-Jo Jung,Jin-Goo Park

出处

期刊：Journal of Colloid and Interface Science [Elsevier BV]
日期：2010-05-05 卷期号：349 (1): 402-407 被引量：22

链接

nih.gov ac.krdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.jcis.2010.04.083

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