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Effects of change of oxygen vacancy on hysteresis voltage and stability under time-temperature dependence positive bias stress in amorphous SZTO transistors

材料科学 阈值电压 薄膜晶体管 无定形固体 磁滞 接受者 溅射 氧气 凝聚态物理 光电子学 晶体管 电压 薄膜 化学 纳米技术 图层（电子） 电气工程 结晶学 物理 有机化学 工程类
作者
M. Balaji,Sang Yeol Lee
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2021-12-03 卷期号：253: 111678-111678 被引量：17
标识
DOI：10.1016/j.mee.2021.111678
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