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Influence of Annealing Temperature on the Microstructure and Hardness of TiN Coatings Deposited by High-Power Impulse Magnetron Sputtering

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 锡 纳米压痕 微观结构 溅射沉积 冶金 退火（玻璃） 氮化钛 溅射 氮化物 薄膜 复合材料 图层（电子） 纳米技术
作者
Anas Ghailane,El Yazid Maadane,Ayyoube Barchid,Sabah Berchane,Soukayna Badre-Eddine,Hicham Larhlimi,Christian B. Fischer,Jones Alami,M. Makha
出处
期刊：Journal of Materials Engineering and Performance [Springer Science+Business Media]
日期：2022-02-18 卷期号：31 (7): 5593-5601 被引量：8
标识
DOI：10.1007/s11665-022-06689-5
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