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Phase control of sputter-grown large-area MoTe2 films by preferential sublimation of Te: amorphous, 1T′ and 2H phases
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作者
Shogo Hatayama,
Yuta Saito,
Kotaro Makino,
Noriyuki Uchida,
Yi Shuang,
Shunsuke Mori,
Yuji Sutou,
Miloš Krbal,
Paul Fons
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：10 (29): 10627-10635
被引量：21
链接
rsc.org
handle.net
doi.org
标识
DOI：10.1039/d2tc01281b
摘要
The crystallization mechanism of sputter-deposited amorphous Mo–Te film is revealed enabling the large-area growth of 2D materials.
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