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A holistic approach of EUV mask inspection, defect classification, and disposition for 2nm logic manufacturing

计算机科学 极紫外光刻 工程类 性情 电子工程 工程制图 机械工程 电流模式逻辑 材料科学 可制造性设计
作者
Ya Chien Chang,Yen-Lin Chen,Kosuke Ito,Xin-Ya Liu,Lu Yu,Masaki Satake,Zeyu Lei,Vikram Tolani,Akash Akash,Amo Chen,Dongxue Chen,Dongsheng Fan,Mingwei Li,Genji Karube,Akira Fuse,Kazuaki Matsui,Megumi Tsuboi,Katsuki Yokoo,KOHEI ONOZUKA,Mitsuharu Yamana
标识
DOI：10.1117/12.3073220
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