Specificities of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. III. Symmetric Discharge Partially Filling the Discharge Chamber

激发 原子物理学 等离子体 物理 波导管 领域(数学) 电场 电容感应 驻波 电子 材料科学 光学 电气工程 工程类 量子力学 纯数学 数学
作者
С. А. Двинин,О. А. Синкевич,З. А. Кодирзода,Д. К. Солихов
出处
期刊:Plasma Physics Reports [Pleiades Publishing]
卷期号:47 (3): 211-234 被引量:4
标识
DOI:10.1134/s1063780x2102001x
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