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Nanoscale Structuring of Gallium Arsenide in High-Frequency and Glow Discharge Plasma

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作者
Andrey Dunaev,D. V. Barabanov,T. A. Zhukova
出处
期刊:Russian Microelectronics [Pleiades Publishing]
卷期号:50 (4): 246-252 被引量:1
标识
DOI:10.1134/s1063739721040041
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