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The improvement of HEIP immunity using STI engineering at DRAM

德拉姆 降级（电信） 材料科学 氧化物 动态随机存取存储器 免疫 光电子学 栅氧化层 纳米技术 电气工程 晶体管 工程类 免疫系统 医学 免疫学 电压 冶金 半导体存储器
作者
Seunguk Han,Youngyoun Lee,Yongdoo Kim,Jemin Park,Junhee Lim,S. Yamada,Hyeongsun Hong,Kyupil Lee,Gyoyoung Jin,Eunseung Jung
出处
期刊：Microelectronics Reliability [Elsevier]
日期：2017-07-15 卷期号：76-77: 164-167 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2017.07.039
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