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Effect of Al substrate nitridation on the properties of AlN films grown by pulsed laser deposition and its mechanism

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作者
Wenliang Wang,Huirong Qian,Weijia Yang,Haiyan Wang,Yunnong Zhu,Guoqiang Li
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
日期：2015-05-11 卷期号：644: 444-449 被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2015.05.032
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