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Indium tin oxide thin films prepared by chemical vapour deposition

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作者
Toshiro Maruyama,Kunihiro Fukui
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:203 (2): 297-302 被引量:123
标识
DOI:10.1016/0040-6090(91)90137-m
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