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RIE of SiO2 in doped and undoped fluorocarbon plasmas

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作者
H. Norström,R. Buchta,F. Runovc,Per Wiklund
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：1982-01-01 卷期号：32 (12): 737-745 被引量：12
标识
DOI：10.1016/0042-207x(82)93846-5
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