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Modeling of SiO2 CVD from TEOS/ozone in a separate-gas-injection reactor

臭氧喷油器薄脆饼体积流量沉积（地质）化学气相沉积材料科学体积热力学流量（数学）化学工程机械核工程化学热力学纳米技术有机化学工程类地质学物理古生物学沉积物

作者

Eui Jung Kim,William N. Gill

出处

期刊：Korean Journal of Chemical Engineering [Springer Science+Business Media]
日期：1998-01-01 卷期号：15 (1): 56-63 被引量：2

标识

DOI：10.1007/bf02705306

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