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Etching characteristics and mechanism of Pb(Zr,Ti)O3 thin films in CF4/Ar inductively coupled plasma

感应耦合等离子体等离子体分析化学（期刊）材料科学蚀刻（微加工）薄膜混合比混合（物理）离子化学物理化学复合材料纳米技术物理量子力学有机化学色谱法图层（电子）

作者

Alexander Efremov,D.P Kim,K.T Kim,C.I Kim

出处

期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2004-05-31 卷期号：75 (4): 321-329 被引量：17

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2004.03.013

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