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The effect of hydrogen annealing on the electrical properties of β-Ga2O3/4H-SiC MOSFETs grown by liquid-injection MOCVD
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作者
Fedor Hrubišák,
M. Ťapajna,
Fridrich Egyenes,
Ondrej Pohorelec,
Edmund Dobročka,
Alica Rosova,
Kristina Husekova,
Á. Vincze,
Pavol Noga,
Tibor Ižák,
Boris Hudec,
T. Ščepka,
Filip Gucmann
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2026-01-07
卷期号：206: 110402-110402
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110402
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