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Influence of growth rate on epitaxy of high-Al-content AlGaN via metal−organic chemical vapor deposition

化学气相沉积外延材料科学金属金属有机气相外延沉积（地质）增长率薄膜化学工程化学矿物学纳米技术冶金地质学图层（电子）古生物学几何学工程类数学沉积物

作者

Cong Chen,Qiushuang Chen,Jianghong Gao,Chenglong Xu,Fang Ye,Ge Gao,Li Chen,Jichun Ye,Wei Guo

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：1013: 178597-178597 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2025.178597

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