Doping-less MultiGate Inverted-T shape FET device with Schottky source/drain contacts

材料科学 光电子学 电介质 栅氧化层 晶体管 兴奋剂 肖特基势垒 栅极电介质 CMOS芯片 场效应晶体管 氧化物 电气工程 绝缘体上的硅 泄漏(经济) 电压 二极管 工程类 宏观经济学 经济 冶金
作者
Sameeksha Munjal,Neelam Rup Prakash,Jasbir Kaur,Komal Sharma
标识
DOI:10.1016/j.mejo.2023.106033
摘要

A dopingless multi-gate inverted-T Shape device has been proposed with Schottky source/drain contacts. Gate oxide engineering is performed on the proposed device, and its two configurations namely Hetero-Dielectric (HD) and Gate-Stack (GS) are implemented. The proposed HD configuration of dopingless inverted-T shape FET has asymmetric oxide; where oxide (HfxTi1-xO2) having high value of dielectric is placed on source side and SiO2 with lower dielectric value is placed on drain side. The designed device showcase a leakage current of approximately 10−16 A in contrast to the traditional junctionless FET which has leakage of 10−10 A. Also, comparative analysis of the GS and HD dopingless multi-gate inverted-T shape transistor is outlined at different parameters including channel length, fin width and Ultra-thin body thickness. AC analysis of the device has been done to evaluate cut-off frequency and gain bandwidth product. Additionally, p-channel configuration is formulated in conjunction with n-channel MOS configuration to investigate the device's suitability for applications employing CMOS technology.
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