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Analysis of sawing characteristics of fine diamond wire slicing multicrystalline silicon

磨料材料科学钻石薄脆饼硅表面粗糙度切片复合材料表面光洁度冶金化学机械平面化抛光光电子学机械工程工程类

作者

Yihe Liu,Yufei Gao,Chunfeng Yang

出处

期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：2021-11-09 卷期号：120: 108708-108708 被引量：22

标识

DOI：10.1016/j.diamond.2021.108708

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