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Microstructure and mechanical properties of physical vapor deposited Cu/W nanoscale multilayers: Influence of layer thickness and temperature

纳米压痕物理气相沉积材料科学沉积（地质）图层（电子）微观结构基质（水族馆）复合材料纳米尺度原子层沉积薄膜纳米技术生物沉积物海洋学地质学古生物学

作者

M.A. Monclús,Miroslav Karlı́k,M. Callisti,E. Frutos,Javier LLorca,Tomáš Polcar,J.M. Molina-Aldareguía

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2014-05-27 卷期号：571: 275-282 被引量：66

链接

upm.es upm.esdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2014.05.044

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