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Numerical and experimental investigation on iron contamination of 200 mm semiconductor-grade CZ-Si by bubble-free layer of quartz crucible

坩埚（大地测量学） 石英 气泡 图层（电子） 材料科学 污染 半导体 冶金 化学 复合材料 物理 机械 光电子学 生态学 生物 计算化学
作者
Wang Sheng,Weinan Chen,Qipeng Zou,Runlong Shang,Xingmao Zhang,Xin Shi,Kun Zhang,Xuetao Luo,L. Huang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-09-24 卷期号：230: 113668-113668 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113668
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