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Modulation of Ferroelectric Properties in Tin/Hf0.5zr0.5o2/Tin Capacitors Through Oxygen Plasma Treatment of the Tin Bottom Electrode

电容器 材料科学 电极 铁电性 氧气 冶金 光电子学 化学 电压 电气工程 电介质 工程类 物理化学 有机化学
作者
Tung-Ming Pan,J.Y. Wu,Wei-Che Weng,Jim-Long Her
出处
期刊:Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
标识
DOI:10.2139/ssrn.5262384
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