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Angstrom surface with high material removal rate for quartz glass induced by silk dissolved novel green chemical mechanical polishing

泥浆 化学机械平面化 材料科学 抛光 表面粗糙度 化学工程 吸附 石英 溶解 复合材料 表面改性 表面光洁度 纳米技术 化学 有机化学 工程类
作者
Lu Liu,Zhenyu Zhang,Chunjing Shi,Xingqiao Deng,Hongxiu Zhou,Junyuan Feng,Xiuqing Liu,Xiaoyu Liu,Wei Wen
出处
期刊:Colloids and Surfaces A: Physicochemical and Engineering Aspects [Elsevier BV]
卷期号:682: 132957-132957 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.colsurfa.2023.132957
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