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Formation by PECVD of very thin silicon oxynitride [SIOxNy] layers technology and characterisation

氮化硅等离子体增强化学气相沉积硅材料科学光电子学工程物理氮化硅物理

作者

Romuald B. Beck,M. Cuch,A. Wojtkiewicz,A. Kudła,A. Jakubowski

出处

期刊：Acta Agrophysica [Institute of Agrophysics Polish Academy of Sciences]
日期：2002-01-01 卷期号：80

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