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On the origin of nanoripples on silicon by gas cluster-ion irradiation

辐照星团（航天器）硅通量材料科学离子离子束原子物理学化学物理光电子学化学物理核物理学有机化学计算机科学程序设计语言

作者

Д.С. Киреев,M.O. Ryabtsev,A. A. Tatarintsev,A.E. Ieshkin

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
日期：2022-04-02 卷期号：520: 8-12 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.nimb.2022.03.017

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